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槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備

簡(jiǎn)要描述：v應(yīng)用領(lǐng)域：RCA清洗

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

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更新時(shí)間

2024-10-22

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詳細(xì)介紹

v 應(yīng)用領(lǐng)域：RCA清洗，濕法去膠，介質(zhì)層濕法刻蝕，金屬層濕法刻蝕，爐管前清洗等

v 晶圓尺寸：100mm~300mm

v 設(shè)備配置：

? 支持化學(xué)液C.C.S.S.、L.C.S.S

? Marangoni dry 或 spin dry

? 自動(dòng)換酸，自動(dòng)補(bǔ)液、配液

? 加熱控制，濃度控制，流量控制，壓力控制等

? 槽體過(guò)溫保護(hù)，各單元配置漏液傳感器

? 支持化學(xué)液回收

? 全面支持SECS/GEM通訊協(xié)議

v 工藝指標(biāo)：蝕刻非均勻性片內(nèi)：≤4%；片間：≤4%；批次間： ≤4%；

v 顆粒控制：增加值<30顆@0.09μm（帶氧化硅膜測(cè)試，來(lái)料顆粒<50顆）

v 金屬離子：<5E9 atoms/cm²

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