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產(chǎn)品分類
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v 應用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火,形成良好的歐姆接觸
v 加工尺寸:4inch、6inch
v 加工速度:1000mm/s
v 加工精度:±1μm
v 平臺參數(shù):行程300mm×300mm
v 重復定位精度:±0.001mm
v 激光器參數(shù):紫外
v 稼動率:98%以上
v 重大故障間隙時間:>1000H
v 良率:≥99.5%
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