產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類
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v 設(shè)備用途:熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機(jī)物等
v 設(shè)備組成:有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成
v 樣品尺寸:8inch
v 沉積源/真空度:根據(jù)用戶定制
v 控制系統(tǒng):手動(dòng)、全自動(dòng)