簡要描述：v主要功能：快速熱退火，快速熱氧化，快速熱氮化，擴(kuò)散，化合物半導(dǎo)體退火，離子注入后退火，電極合金化等v樣片尺寸：8inch，向下兼容，支持不規(guī)整樣品退火v退火溫度范圍：室溫~1200℃

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2024-10-22

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v 主要功能：快速熱退火，快速熱氧化，快速熱氮化，擴(kuò)散，化合物半導(dǎo)體退火，離子注入后退火，電極合金化等

v 樣片尺寸：8inch，向下兼容，支持不規(guī)整樣品退火

v 退火溫度范圍：室溫~1200 ℃。

v 室溫到1000度，升溫速率120 ℃/second

v 全程熱電偶測溫，不使用高溫計(jì)，無需額外校準(zhǔn)

v 退火溫度的重復(fù)性、準(zhǔn)確性± 1 ℃

v 兩路工藝氣體，MFC流量計(jì)控制，流量為0-5NLM

v 可通入氮?dú)?、氧氣，可以分別通入或者通入混合氣體

v 可選擇真空退火模式，真空度可達(dá)10^-6hpa

v 配置前級泵，抽速3L/s,極限壓力4*10-2pa

v SPS SIMATIC 軟件控制工藝過程，可編程序不少于50個，且每個程序可編程步驟不少于50步

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