簡要描述：v適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓

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2024-10-22

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v 適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤

v 自動滴膠功能

v 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗、控溫等功能模塊個性化定制

v 轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm

v 轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm

v 加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s

v 單步時長：3000s

v 時間分辨率：0.1s

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